功能镀膜靶材及其它功能材料
氧化物靶材是应用最广泛的一类真空镀膜靶材之一，由一种或多种金属元素与氧元素组成。常用的氧化物靶材包括镁氧化物、铝氧化物、钛氧化物、锆氧化物等。氧化物靶材稳定性高、薄膜的光学、机械和化学性质好，广泛应用于制造耐磨、抗划伤、耐腐蚀、防反射等功能性薄膜。
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氧化物靶材是应用最广泛的一类真空镀膜靶材之一，由一种或多种金属元素与氧元素组成。常用的氧化物靶材包括镁氧化物、铝氧化物、钛氧化物、锆氧化物等。氧化物靶材稳定性高、薄膜的光学、机械和化学性质好，广泛应用于制造耐磨、抗划伤、耐腐蚀、防反射等功能性薄膜。
